作为陕西发展半导体集成电路产业的重点项目、2024年市级重点建设项目，由陕建七建集团施工的高新区8英寸高性能特色工艺半导体集成电路生产线建设项目建设进度条持续刷新，建成后将填补我省8英寸半导体制造领域的空白。

近日，记者走进位于西安高新综合保税区内的8英寸高性能特色工艺半导体集成电路生产线建设项目，工人们“火力全开”，以“满弓紧弦、只争朝夕”的状态为年底全面封顶做着收尾工作。

14000余平方米的华夫板助力高洁净度生产厂房建设

在工作人员的带领下，顺着楼梯记者走上二楼，抬头望向天花板，一块呈现出网格状纹理的巨型“华夫板”很是吸睛。“这是三万多组华夫筒拼接的，也是项目最特殊的地方。”项目技术质量组副组长王海松介绍说，与其他行业的高科技厂房建设相比，半导体行业工程建设极具特殊性，为确保后期生产设备安装精度以及电子元件制造过程中不受到尘埃和其他微粒的污染，空气洁净度和生产车间内的抗微震性需要严格把控。

此次建设的厂房为高洁净度生产厂房，核心生产区域可达“十级（ISO 1级）”洁净度，所谓“十级（ISO 1级）”洁净度，即代表空气粒子浓度，0.1μm浓度≤10个，0.2μm浓度≤2个，这是洁净度的最高等级，比医院最高等级手术室洁净度的要求提高了100倍。

为此，该项目采用了目前先进的华夫板（利用楼板内孔洞形成回风通道的楼板）楼面，内含80厘米和70厘米两种高度共计30249个华夫筒，一次性组合完成14000余平方米的华夫板结构层。“与普通楼板相比，华夫板的中间预留了大量圆柱形垂直孔洞，以形成回风通道，从而建立起洁净空调通风系统。洁净车间中含微粒的气流经由华夫板可以重新过滤出洁净且稳定的气流。”项目机电负责人王冠说。

将填补我省8英寸半导体制造领域空白

随后，在工作人员的带领下，记者来到生产厂房第三层的施工区域，巨大的钢结构屋架壮观地出现在眼前。“为满足后期半导体设备能够更便捷地进行移动与更换，项目房盖钢桁架跨度设计就比较大，单跨跨度就能达到43.2米和46.8米，整榀桁架重达140吨，其安装工程属于超过一定规模的危险性较大的工程。”项目经理李虎让说。

这么大的体量，如何采取有效的安全技术措施，确保钢屋架的吊装？李虎让介绍，项目团队采取有效的安全技术措施确保钢屋架的吊装，将上厂房划分为4个施工段，每个施工段配合2台50吨汽车吊进行拼装，大大提高了施工效率，共计4000多吨的钢结构仅用一个月就完成了施工。

记者从现场了解到，8英寸高性能特色工艺半导体集成电路生产线建设项目总建筑面积约17.39万平方米，由生产厂房、生产调试厂房、综合动力站、特气站、硅烷站及各类库房等17栋单体组成。

“电子厂房建设工期短、节奏快、质量要求高、资金量投入大，这也就对建设者的项目管理提出了更高要求。在建设过程中，我们投入了大量的人力，厂房施工中工人数量最多时能达到1300余人，为了调度如此庞大的施工团队和土建、钢构、机电、工艺设备以及洁净工程等多个工序，项目指挥部采取了一系列精细化管理措施和资源配置计划。”项目指挥部现场常务执行指挥长杨晓栋说，将继续深入研究高精厂房的建造技术，以强大的专业能力为陕西制造保驾护航，以品质助力并“建”证“中国芯”“陕西芯”的进步和发展。

编辑：呼乐乐